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大面積AZO透明導電膜生產線

臥/立式連續磁控濺射鍍AZO膜生產線共設計有七個真空腔體部分,第一部分為進口室,第二部分為進口緩沖室,第三部分為進口傳送室,第四部分為工藝室,第五部分為出口傳送室,第六部分為出口緩沖室,第七部分為出口室;兩對采用PCU04閉路環控制的中頻孿生Si靶,形成高質量的隔離SiO2層;十對圓柱AZO靶,實現高質量的AZO透明導線膜;設備設計加工尺寸為寬1100mm,長1400mm的平面基板材料,生產加工周期可優化到60-120秒;生產線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的先進設計,生產線采用渦輪浮分子泵以獲得高效的隔離、穩定的抽速和均勻的氣體分布。

該生產線運用在薄膜太陽能電池上,透明導電膜用為減反射層和透明電極使用,可以提高太陽能的轉化效率,用AZO薄膜代替ITO薄膜,不僅可以降低生產成本,而且無毒環保,膜層性能更加穩定。 

 

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